金融界2025年4月5日消息,国家知识产权局信息显示,山东力冠微电子装备有限公司申请一项名为“防沉积炉盖和立式工艺炉”的专利,公开号 CN 119753632 A,申请日期为 2024年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种防沉积炉盖和立式工艺炉,其中防沉积炉盖,用作立式工艺炉的炉盖,所述防沉积炉盖包括盖体和内置于盖体内的电致加热元件,以及安装在盖体上的测温器件,以闭环的控制炉盖上端面位于炉口处的温度。依据本发明的防沉积炉盖不容易在炉盖的上表面暴露在炉腔内的部分上积聚反应物。
天眼查资料显示,山东力冠微电子装备有限公司,成立于2013年,位于济南市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1050万人民币,实缴资本150万人民币。通过天眼查大数据分析,山东力冠微电子装备有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目75次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息44条,此外企业还拥有行政许可9个。
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