金融界2025年4月5日消息，国家知识产权局信息显示，山东力冠微电子装备有限公司申请一项名为“防沉积炉盖和立式工艺炉”的专利，公开号 CN 119753632 A，申请日期为 2024年12月。专利摘要显示，本发明公开了一种防沉积炉盖和立式工艺炉，其中防沉积炉盖，用作立式工艺炉的炉盖，所述防沉积炉盖
